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应力双折射测量系统

非球面透镜应力双折射测量系统

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不规则非球面光学元件应力分布测量系统(光刻机透镜测量等)

所属类别:光学检测设备 » 应力双折射测量系统

所属品牌:美国Hinds Instruments公司

产品负责人:欧洲成在人线a免费视频

姓名:田工(Allen)

电话:欧洲成在人线a免费视频185 0166 2513(微信同号)

邮箱:jinquan-tian@idnconsulting.com


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不规则非球面光学元件应力分布测量系统

光刻机透镜测量等)

不规则非球面光学元件(光刻机透镜等)应力分布测量系统


利用光弹调制器技术,Hinds 公司的应力双折射测量系统可以在深紫外(193nm)波段进行应力双折射探测。针对特定材料制作(氟化钙)和特定形状(非球面透镜)有着独特的技术解决方案。


应力双折射测量系统,非球面透镜应力双折射测量,应力椭偏仪,应力椭偏测量


Hinds 公司的不规则非球面光学元件应力分布测量系统(应力双折射测量系统)通过对光的调制解调可以测出待测光学元件中的双折射大小和方向,这些数据同时也表示了应力的大小和方向。Hinds 公司这套不规则非球面光学元件应力分布测量系统独创的倾斜,多角度入射扫描技术可以保证对非球面不规则的光学元件(光刻机透镜等)有着完美的扫描测量解决方案。



产品特点:
1. 全套内置软件自动扫描成图
2. 非球面扫描(手动宏程序)
3. 应力大小及方向分布探测成图
4. 定制各种尺寸形状样品台
5. 最低探测强度:皮瓦


产品参数:
1. 可见光波段探测延迟范围:0 to 300+nm
2. 深紫外波段探测延迟范围:0 to 90+nm
3. 可见光波段应力探测精度:0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter)
4. 深紫外波段应力探测精度:0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)




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