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高精度显微镜物镜扫描仪 --- 高精度亚纳米物镜扫描台/定位台!

所属类别:位移台/偏转镜/隔振台 » 变焦模块/物镜扫描台

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产品负责人:欧洲成在人线a免费视频

姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363(微信同号)

邮箱:wentao-li@idnconsulting.com


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高精度显微镜物镜扫描

高精度亚纳米物镜扫描台/定位台!


上海昊量推出的物镜扫描台采用压电陶瓷直推,以柔性铰链为导向使物镜扫描台具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点,采用硅位移传感器,物镜扫描台相比于传统的电容式位移传感器,物镜扫描台硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。物镜扫描台的精度可以达到亚纳米,底噪低至10pm。


物镜扫描仪,物镜扫描台,显微镜物镜扫描仪,压电陶瓷扫描台,压电精密定位系统

昊量光电推出的压电平移台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和非常低的底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点,被广泛的应用于超分辨率显微镜,光学捕获和原子力显微镜等领域。

上海昊量推出的物镜扫描台主要有AU-FOC和AU-FOCHS.100两款产品。

AU-FOCHS采用管状设计,专门用于显微镜物镜快速高精度定位。该物镜扫描台可提供行程可达到100μm,精度可达到0.1 nm,谐振频率可达到1175Hz。它由铝、钢和黄铜构成,配备硅传感器,可提供皮米级的稳定性。以上优点使其拥有广泛的应用,例如,激光加工自动聚焦等还可以与自动对焦稳定系统结合使用。


AU-FOC是一款专门用于显微镜物镜准确定位的设备。该物镜扫描台可提供100/200/300μm不同行程。该物镜扫描台由铝和黄铜构成,结合硅传感器可提供皮米量级的稳定性。



以上两款物镜扫描台的黄铜安装环可以轻松更换,因此几乎所有的物镜都可以与这两款物镜扫描台结合使用。可用的物镜大小有RMS, M25, M26, M27 and M32.

 
产品特点
l  高分辨率(0.01nm)
l  高速度,谐振频率可达1175Hz
l  采用硅传感技术
l  超低底噪
l  柔性铰链导向


主要应用
l  自动聚焦系统
l  共焦显微镜
l  3D成像
超分辨显微
l  半导体计量学



 产品参数:


Unit

AU-FOC

AU-FOCHS

Range   of motion

mm

100

200

300

100

Resolution

nm

0.1

0.2

0.3

0.1

Typical   noise floor

nm

0.01

0.02

0.03

0.01

Full   range repeatability

nm

0.2

0.4

0.6

0.2

Linearization   (typical)


0.02%

Resonant   frequency

Hz

500

350

250

1175

Stiffness

N/mm

0.6

0.4

0.3

3.5

Maximum   load :



horizontal   use

Kg

0.5

vertical   use

Kg

0.5

Sensor


Silicon   HR sensor

Material


Al

Cable   length

m

2

Controller


standard

High speed








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